mems

Mikro-Elektromekanik Sistem(micro electro mechanical systems)'in kısaltmasıdır. Elektronik olarak uzaktan kontrol edilebilen ve hareketli parçalara sahip mikro ölçekli sistemler olarak tanımlanmaktadır. Yurt dışında önemli çalışmaların yapıldığı Türkiye'de de yeni yeni gelişen ve araştırılan bir teknolojidir.

mems - abd
microsystems technology (mst) -avrupa-
micromachines -japonya-
da kullanılan isimleridir.

fabrikasyonu, manipülasyonu ve entegrasyonu hep bir problem olan, ufacık tefecik parçacıklar.