ivmelendirilmiş elektronların manyetik alan ve vakum ortamı sayesinde demet haline getirilerek incelenecek numune yüzeyine gönderilmesi ve numunenin yüzey özellikleri, tane sınırları, kırılma davranışı, mikroyapısı hakkında bilgiler verir. iyi bir SEM ile 500.000 kat büyütmede net görüntüler alınabilir. Net görüntü alabilmek büyük ölçüde cihazın donanımı (özellikle elektron tabancası), numunenin iyi hazırlanmış olması, operatörün tecrübesine bağlıdır.
SEM'de görüntüleme teknikleri iki farklı tür elektron sayesinde gerçekleştirilir.
1- ikincil elektronlar (secondary electrons, SE) : Numunedeki atomların en dış yörüngelerinden gelen elektronlardır. düşük enerjili fakat sayıca fazladırlar. Numune topografisiyle ilgili bilgi verirler. Dolayısıyla bu tür elektronlarla kırık yüzey numuneleri incelenir ve numunenin kırılma özellikleriyle ilgili bilgiler edinilir.
2- Geri saçılımlı elektronlar (back scattered electrons, BSE) : Gönderilen elektronların, numunenin atomlarının çekirdeğe yakın elektronlarıyla etkileşerek karakteristik ışınlar oluşturan elektronlardır. Bu elektronlar yüksek enerjili fakat sayıca azdır. Hafif elementlerin elektron sayıları az olduğundan, bu elementlerden saçılan BSE'lar daha azdır, dolayısıyla hafif elementlerin olduğu kısımlar daha koyu renkli görünür. Bu kontrast farkından, faz analizi yapılır. Oluşan karakteristik ışınlar sayesinde (x-ışınları) sinyali alınan elementin ne olduğu da belirlenir (energy dispersive x-ray spectroscopy, EDX).
Çalışma prensibi, operasyon, numune hazırlama, görüntü yorumlama gibi konularda daha fazla bilgi için iletişelim, belki bir faydam dokunur.
